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新的傳感器應該大致包括哪些?

時間:2022-06-29 點擊次數:

傳感器在科學技術、工業(yè)和農業(yè)生產以及日常生活中發(fā)揮著越來越重要的作用。人類社會對傳感器的要求越來越高,這是傳感器技術發(fā)展的強大驅動力?,F代學習技術的快速進步提供了強有力的支持。


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隨著科學技術的發(fā)展,傳感器也在不斷更新和發(fā)展。

1、開發(fā)新型傳感器。

新的傳感器應該大致包括:使用新的原理,填補傳感器的空白,仿生傳感器和其他方面。它們是相互關聯的。傳感器的工作機制是基于各種效果和規(guī)律,從而激勵人們進一步探索具有新效應的敏感功能材料,開發(fā)具有新原理的新型物理傳感器,是開發(fā)高性能、多功能、低成本、小型化傳感器的重要途徑。結構傳感器發(fā)展較早,目前越來越成熟。結構傳感器,一般來說,其結構復雜,體積大,價格高。物理傳感器大致相反,有許多有吸引力的優(yōu)勢,而且過去的發(fā)展還不夠。世界各國都投入了大量的人力和物質資源來加強對物質傳感器的研究,使其成為值得注意的發(fā)展趨勢。其中,利用量子力學效應開發(fā)的低靈敏度閾值傳感器用于檢測微弱信號,是新的發(fā)展趨勢之一。

2、集成化、多功能化、智能化。

傳感器集成包括兩個定義。一個是具有相同功能的多個元件的并列化。同一類型的單個傳感器元件通過集成過程排列在同一平面上,并排列為一維線性傳感器。CCD圖像傳感器屬于這種情況。集成的另一個定義是多功能集成,它將傳感器與放大、操作和溫度補償集成到一個設備中。

隨著集成技術的發(fā)展,各種混合集成和單片集成壓力傳感器相繼出現,其中一些已成為商品。集成壓力傳感器具有電阻、電容等類型,其中電阻集成傳感器發(fā)展迅速,應用廣泛。

傳感器的多功能性也是其發(fā)展方向之一。在一個典型的多功能實例中,由美國一所大學傳感器研發(fā)中心開發(fā)的單片硅多維傳感器可以同時測量三個線速度、三個離心加速度(角速度)和三個角加速度。主要部件是由四個正確設計的懸臂梁組成的單片硅結構,以及九個正確布置在每個懸臂梁上的阻力敏感部件。多功能不僅可以降低生產成本,減少體積,而且可以有效提高傳感器的穩(wěn)定性、可靠性等性能指標。

將多個不同功能的傳感元件集成在一起,不僅可以同時測量多個參數,還可以綜合處理和評價這些參數的測量結果,可以反映被測系統(tǒng)的整體狀態(tài)。從上面可以看出,集成給固態(tài)傳感器帶來了許多新的機會,也是多功能的基礎。

傳感器與微處理器的結合,使其不僅具有檢測功能,而且具有信息處理、邏輯判斷、自我診斷、思維等人工智能,稱為智能傳感器。在半導體集成技術的幫助下,傳感器部分和信號預處理電路、輸入輸出接口、微處理器等在同一芯片上,成為大型集成智能傳感器??梢哉f,智能傳感器是傳感器技術與大規(guī)模集成電路技術相結合的產物,其實現將取決于傳感器技術和半導體集成技術水平的提高和發(fā)展。這種傳感器具有多功能、性能高、體積小、適合大規(guī)模生產和使用方便等優(yōu)點,可以肯定地說,是傳感器的重要方向之一。

3、開發(fā)新材料。

傳感器材料是傳感器技術的重要基礎,是傳感器技術升級的重要支撐。隨著材料科學的進步,傳感器技術越來越成熟,其種類也越來越多。除了早期使用的半導體材料和陶瓷材料外,導光纖和超導材料的發(fā)展為傳感器的發(fā)展提供了物質基礎。例如,根據許多基于硅的半導體材料易于微型化、集成、多功能、智能,半導體光熱探測器具有高靈敏度、高精度、非接觸特性,發(fā)展紅外傳感器、激光傳感器、光纖傳感器等現代傳感器在敏感材料、陶瓷材料、有機材料發(fā)展迅速,可使用不同配方混合原料,再精密部署化學成分,經過高精度成型燒結,獲得一種或多種氣體識別敏感材料,用于制作新的氣體傳感器。此外,聚合物有機敏感材料,具有非常敏感的氣體。

4、采用新工藝。

在新傳感器的發(fā)展中,新工藝的采用是不可或缺的。新工藝的含義非常廣泛,主要是指與新興傳感器發(fā)展密切相關的微加工技術。這種技術,又稱微加工技術,是近年來隨著集成電路技術的發(fā)展而發(fā)展起來的。它是一種微電子加工技術,如離子束、電子束、分子束、激光束和化學蝕刻。目前,它越來越多地應用于傳感器領域,如濺射、蒸發(fā)、等離子體蝕刻、化學氣體沉積(CVD)、延伸、擴散、腐蝕、光刻等。到目前為止,國內外已經有大量的傳感器使用上述工藝。


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