與傳統(tǒng)傳感器相比，微型傳感器具有許多新的特點，彌補了傳統(tǒng)傳感器的不足，具有廣闊的應用前景，因此受到了越來越多的關注。本文簡要介紹幾種微型傳感器的結構和工作原理，闡述一下微型傳感器的基本性能特點及發(fā)展趨勢。

首先講一下微傳感器特性：微型傳感器不是傳統(tǒng)傳感器簡單的物理收縮的產(chǎn)物，而是采用與標準半導體工藝相容的材料，采用新一代MEMS工藝制作的小尺寸、一體化的傳感器，其工作機理和物化效應大大提高了傳感器的性能。可以在信號傳輸前對信號進行放大，減少干擾和噪聲，提高信噪比；芯片上集成反饋線和補償線可以改善輸出信號的線性度和頻響特性，減小誤差，提高靈敏度。具有數(shù)組性質?？蓪⒚舾性?、放大電路和補償線集成在一片芯片上?？稍谕恍酒霞啥鄠€相同的敏感元件，具有良好的兼容性，便于與微電子器件進行集成和封裝。采用成熟的硅微半導體工藝加工制造，可批量生產(chǎn)，成本極低。

一般微型傳感器有：

微型機械加速傳感器：

微型加速度傳感器的工作模式主要有壓阻式、電容式、力平衡式和共振式等，如今又出現(xiàn)了熱式微型機械對流加速度傳感器。

微型機械角速度傳感器：

在檢測旋轉角速度和旋轉角時，需要使用陀螺。在檢測旋轉角速度和旋轉角時，需要使用陀螺。

小型氣敏傳感器：

微小型氣敏傳感器可以分為硅基型和硅微型兩種。其中，以硅為基體，非硅為感光層，是目前微氣敏傳感器的主流。

微型感光傳感器：

利用雙分離式PD的工作功率來獲得位移，從而能夠高精度地測量被測物體的位移。這種傳感器的測量范圍是7.2微米，分辨率是4微米。

微型電磁場傳感器。

感應器包括振動和感應兩個主要部分。振動部的核心是振動膜，它是用Si3N4薄膜制成的。

微傳感器發(fā)展趨勢：

微型傳感器的智能化：

智能化系統(tǒng)具有自診斷、自校正、自補償?shù)裙δ?，可實現(xiàn)信息的存儲和記憶，能完成多傳感器多參數(shù)混合測量及信號數(shù)據(jù)的實時處理，并可輸出一定數(shù)量的數(shù)據(jù)。

多功能化：

利用感光元件中不同的物理結構或化學物質，以及它們各自不同的表征方式，使多個感光元件同時發(fā)揮作用的同時具有多種不同功能用途，是當前微型感光技術發(fā)展的新方向。

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