壓力傳感器主要應用在汽車各種壓力的測量中：

主要用于測量氣囊壓力、燃油壓力、發(fā)動機油壓、進水管壓力和輪胎壓力等。該傳感器以單晶硅為材料，利用MEMS技術(shù)，在材料的中間制造出力敏感膜片，然后在膜片上擴散雜質(zhì)，形成四個應變電阻，再通過惠斯頓電橋連接成電路，獲得高靈敏度。

        汽車上使用的MEMS壓力傳感器有電容式、壓阻式、差動變壓器式和聲表面波式等幾種常見形式?！盡EMS加速度計原理以牛頓經(jīng)典力學定律為基礎(chǔ)，一般由懸掛系統(tǒng)和檢測質(zhì)量組成，通過硅質(zhì)量塊的偏移來實現(xiàn)對加速度的檢測，主要應用于汽車氣囊系統(tǒng)、防滑系統(tǒng)、導航系統(tǒng)和防盜系統(tǒng)等，除電容式、壓阻式外，MEMS加速度計還具有壓電式、隧道電流式、諧振式和熱電偶式等形式。而電容式MEMS加速度計由于其靈敏度高，溫度對測量精度影響小，是MEMS微加速度計的主流產(chǎn)品。

微型陀螺是一種角速率傳感器，主要應用于汽車導航GPS信號補償和汽車底盤控制系統(tǒng)，其中包括振動式、轉(zhuǎn)子式等多種傳感器。

大多數(shù)的振動陀螺是利用單晶硅或多晶硅的振動質(zhì)量塊在被基座驅(qū)動旋轉(zhuǎn)時所產(chǎn)生的哥氏效應來感測角速度的。舉例來說，汽車轉(zhuǎn)彎時，系統(tǒng)通過陀螺儀測量角速度，以決定轉(zhuǎn)向是否到位，主動地在內(nèi)側(cè)或外側(cè)車輪上加適當?shù)闹苿?，以防止汽車脫離車道，通常，這種系統(tǒng)與低加速度計組成主動控制系統(tǒng)。

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